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DISC-SP-3200型磁控溅射火爆社区app绿巨人

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产品详情

DISC-SP-3200型:倾斜共溅射,单片送取样室(Load-Lock)

应用方向:科研与教学

产品优势:倾斜共溅射,单片送取样室(Load-Lock)

产品配置:

★样片数量及尺寸: 1片Ф2英寸~Ф6英寸

★溅射材料:金属;非金属;化合物等薄膜材料。

★溅射腔体:高真空系统。

★Load-Lock:低真空系统 或 高真空系统。单片装,样品自动运送。

★溅射不均匀性:≤±3%-±5%

★磁控靶:2-4支;可调角度

★溅射方向:样品下置(自上而下溅射)或 样品上置(自下而上溅射)

★加热:常规加热,可选高温加热

★电源配置:射频;直流;直流脉冲;直流偏压

★清洗功能:可选配考夫曼离子源

★快速反应溅射功能:可选配Speedflo

★膜厚监控功能:可选配晶控膜厚在线监测与终点控制

★操作模式:全自动+半自动控制

设备详细结构与功能,请咨询销售工程师。


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