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DISC-ICP-8101型感应耦合等离子体火爆社区绿巨人

DISC-ICP-8101型感应耦合等离子体火爆社区绿巨人

产品详情

DISC-ICP-8101:氯基专用刻蚀设备,耐氯基强腐蚀气体,带双片送取样室(Load-Lock)

应用方向:科研与教学

产品优势:耐氯基强腐蚀气体,带双片送取样室(Load-Lock)

产品配置:

★样片数量及尺寸:1片Ф6英寸

★刻蚀材料:包括并不限于GaN、GaAs、InP、Al、Cr、单晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、Ti、W、Mo、聚合物等。

★刻蚀腔体:高真空系统

★Load-Lock:低真空系统 或 高真空系统。双片装,样品自动运送。

★刻蚀不均匀性:±3%-±6%

★刻蚀速率:0.1-4μm/min(视具体材料与工艺)

★工作台:可升降,包含水冷

★电源配置:上电极射频,下电极偏压,包含自动匹配

★气路数量与种类:6路气路,其中2路耐氯气腐蚀VCR焊接 或 用户选配

★深硅刻蚀系统:可选配

★He冷背吹系统:可选配

★终点检测控制:可选配质谱仪

★操作模式:全自动+半自动控制

类似产品:带单片送样室耐氯气腐蚀(ICP-5101)

设备详细结构与功能,请咨询销售工程师。



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