欢迎访问北京创世威纳科技有限公司官方网站!客户对每件产品的放心和满意是火爆社区app下载绿巨人一生的追求,用火爆社区app下载绿巨人的努力,解决您的烦恼!
Banner
首页 > 产品中心 > 感应耦合等离子体火爆社区绿巨人
感应耦合等离子体火爆社区绿巨人ICP-601型

感应耦合等离子体火爆社区绿巨人ICP-601型

产品详情

名称:ICP-601型: 耐氟基或更弱腐蚀性气体火爆社区绿巨人

应用方向:科研与教学

产品优势:耐氟基或更弱腐蚀性气体

产品配置:

★样片数量及尺寸:1片Ф6英寸

★刻蚀材料:包括并不限于单晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、Ti、W、聚合物等

★刻蚀腔体:高真空系统

★刻蚀不均匀性:±3%-±6%

★刻蚀速率:0.1-4μm/min(视具体材料与工艺)

★工作台:可升降,包含水冷

★电源配置:上电极射频,下电极偏压,包含自动匹配

★气路数量与种类:6路耐氟基腐蚀气路 或 用户选配

★深硅刻蚀系统:可选配

★He冷背吹系统:可选配

★终点检测控制:可选配质谱仪

★操作模式:全自动+半自动控制

类似产品:带单片送样室(ICP-5100);带单片送样室耐氯气腐蚀(ICP-5101)

设备详细结构与功能,请咨询销售工程师。




询盘